一種多晶硅還原爐控溫節(jié)能系統(tǒng)及工藝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201310404614.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN103466629B | 公開(kāi)（公告）日 | 2016-01-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN103466629B | 申請(qǐng)公布日 | 2016-01-20 |
| 分類(lèi)號(hào) | C01B33/035(2006.01)I | 分類(lèi) | 無(wú)機(jī)化學(xué); |
| 發(fā)明人 | 陳宏偉;許晟 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海美弛騰流體技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海百一領(lǐng)御專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 上海森松流體技術(shù)有限公司;上海森松新能源設(shè)備有限公司;森松（江蘇）重工有限公司 |
| 地址 | 200137 上海市浦東新區(qū)高翔環(huán)路562號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)一種多晶硅還原爐控溫節(jié)能系統(tǒng)及工藝，其特征在于包括三氯氫硅集中汽化器、氫氣預(yù)熱器、管道靜態(tài)混合器、還原爐、硅粉過(guò)濾器、尾氣控溫冷卻器；所述氫氣預(yù)熱器2連接到所述管道靜態(tài)混合器3，所述三氯氫硅集中汽化器連接到所述氫氣預(yù)熱器管程；所述管道靜態(tài)混合器連接到還原爐；所述還原爐4尾氣出氣口連接到所述尾氣控溫冷卻器殼程高溫氣相入口，所述尾氣控溫冷卻器殼程低溫氣相出口連接到所述氫氣預(yù)熱器殼程氣相入口。本系統(tǒng)及其使用方法，使得進(jìn)料組分均勻、進(jìn)料溫度穩(wěn)定可控，熱能利用充分，合理的降低還原爐及系統(tǒng)的能耗，更好地控制多晶硅的生長(zhǎng)質(zhì)量。而且有效地除去尾氣管道的硅粉，保護(hù)了尾氣管路的閥門(mén)以及CDI系統(tǒng)的設(shè)備。 |
