一種多晶硅還原爐控溫節(jié)能系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320555254.0 申請日 -
公開（公告）號 CN203498095U 公開（公告）日 2014-03-26
申請公布號 CN203498095U 申請公布日 2014-03-26
分類號 C01B33/03(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 陳宏偉;許晟 申請（專利權）人 上海美弛騰流體技術有限公司
代理機構 上海百一領御專利代理事務所（普通合伙） 代理人 上海森松環(huán)境技術工程有限公司;上海森松新能源設備有限公司
地址 200137 上海市浦東新區(qū)高翔環(huán)路562號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多晶硅還原爐控溫節(jié)能系統(tǒng)，包括三氯氫硅集中汽化器、氫氣預熱器、管道靜態(tài)混合器、還原爐、硅粉過濾器、尾氣控溫冷卻器；所述氫氣預熱器(2)連接到所述管道靜態(tài)混合器(3)，所述三氯氫硅集中汽化器連接到所述氫氣預熱器管程；所述管道靜態(tài)混合器連接到還原爐；所述還原爐(4)尾氣出氣口連接到所述尾氣控溫冷卻器殼程高溫氣相入口，所述尾氣控溫冷卻器殼程低溫氣相出口連接到所述氫氣預熱器殼程氣相入口。本系統(tǒng)使得進料組分均勻、進料溫度穩(wěn)定可控，熱能利用充分，合理的降低還原爐及系統(tǒng)的能耗，更好地控制多晶硅的生長質量。而且有效地除去尾氣管道的硅粉，保護了尾氣管路的閥門以及CDI系統(tǒng)的設備。