一種探針卡及晶圓測(cè)試系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110769474.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113484561A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113484561A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) G01R1/067（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 梁建;羅雄科 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海澤豐半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海碩力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 楊用玲
地址 200233上海市徐匯區(qū)田州路159號(hào)15單元1302室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種探針卡及晶圓測(cè)試系統(tǒng)，探針卡包括：PCB板；陶瓷基板，設(shè)置在所述PCB板上；探針頭，設(shè)置在所述陶瓷基板上，且所述探針頭包括導(dǎo)引板，所述導(dǎo)引板上設(shè)置有若干個(gè)均勻分布的探針；其中，所述PCB板和所述陶瓷基板之間設(shè)置有插板，所述插板上設(shè)置有若干個(gè)貫穿所述插板的彈簧針，所述彈簧針的兩端分別與所述PCB板和所述陶瓷基板固定連接。該探針卡能夠在增大測(cè)試區(qū)域的同時(shí)，保證探針的針尖平整度，從而有利于晶圓的測(cè)試。