具有聚磁層的線性薄膜磁阻傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210205370.X 申請日 -
公開（公告）號 CN102692242B 公開（公告）日 2015-02-25
申請公布號 CN102692242B 申請公布日 2015-02-25
分類號 G01D5/12 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王建國 申請（專利權(quán)）人 寧波希磁電子科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 代理人 尉偉敏
地址 315299 浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)中官路1188號10棟2樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種磁阻傳感器，尤其是一種具有聚磁層的線性薄膜磁阻傳感器，屬于半導(dǎo)體的技術(shù)領(lǐng)域。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述具有聚磁層的線性薄膜磁阻傳感器，包括襯底；磁阻傳感器本體，位于襯底上，具有方向上相互垂直的第一磁矩與第二磁矩；聚磁層，位于襯底上方，與磁阻傳感器本體絕緣隔離，并將待測量外磁場放大后作用于磁阻傳感器本體上。本發(fā)明磁阻傳感器本體上設(shè)置聚磁層，在聚磁層上方或下方設(shè)置電流導(dǎo)線，聚磁層能夠?qū)㈦娏鲗?dǎo)線產(chǎn)生的感應(yīng)磁場及待測外磁場進行放大，從而提高薄膜磁阻傳感器的靈敏度及測量范圍；精度和線性度高，線性范圍可調(diào)，工藝簡單，響應(yīng)頻率高，成本低，抗干擾性強和溫度特性好。