一種專用于碗形半導(dǎo)體配件的等離子噴涂輔助裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121778689.2 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN215404451U 公開（公告）日 2022-01-04
申請公布號(hào) CN215404451U 申請公布日 2022-01-04
分類號(hào) C23C4/134（2016.01）I;C23C4/11（2016.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 薛弘宇;周建國 申請（專利權(quán)）人 江蘇凱威特斯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫蘇元專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張洪偉
地址 214000江蘇省無錫市錫山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)團(tuán)結(jié)路31號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于碗形半導(dǎo)體配件加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種專用于碗形半導(dǎo)體配件的等離子噴涂輔助裝置，包括保護(hù)罩，所述保護(hù)罩內(nèi)側(cè)壁的上端開設(shè)有呈環(huán)形狀臺(tái)階的放置槽，所述放置槽的上端面放置有工件，所述工件的上方設(shè)置有頂蓋，所述頂蓋安裝于保護(hù)罩的頂部，從而通過將工件放置在放置槽上，便于將工件的位置進(jìn)行固定，從而可達(dá)到對碗形配件工作面進(jìn)行有效噴涂的效果，通過保護(hù)罩可對噴涂中的工件進(jìn)行防護(hù)，避免工件的噴涂時(shí)完整無碰撞，且可阻止噴涂的粉末噴灑至外部，解決了碗形配件在等離子噴涂過程中涂層界面難以控制和有效地保護(hù)的技術(shù)缺陷，通過將掉落的噴涂收集在底座的內(nèi)部，從而達(dá)到將噴涂的三氧化二釔粉末進(jìn)行回收利用的效果。