無水氫氟酸尾氣處理裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021387647.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213132570U 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN213132570U 申請公布日 2021-05-07
分類號 B01D53/18(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 駱彥成;劉奕豐;任建業(yè);胡侃中;吳全貴 申請（專利權）人 福建天甫電子材料有限公司
代理機構 廈門原創(chuàng)專利事務所（普通合伙） 代理人 徐東峰
地址 364000福建省龍巖市上杭縣蛟洋鎮(zhèn)坪埔村新村路71號3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種無水氫氟酸尾氣處理裝置，包括：常壓尾氣收集管；噴射器，其進氣端與所述常壓尾氣收集管連接；帶壓尾氣收集管；石墨降膜吸收器，其進氣端分別與所述帶壓尾氣收集管以及所述噴射器的出氣端連接，所述石墨降膜吸收器還包括一與廢氣處理單元連接的出氣口；設置于所述石墨降膜吸收器外部的冷卻循環(huán)管路；增濃槽，其頂部的進液口與所述石墨降膜吸收器的出液口相連接，其底部的出液口與回收管路連接。??