一種聲表面波器件及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910887995.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112448689A 公開（公告）日 2021-03-05
申請公布號 CN112448689A 申請公布日 2021-03-05
分類號 H03H9/02(2006.01)I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李勇;朱衛(wèi)俊;何朝峰;黃亮;馬杰;王祥邦;周陳程;沈得田;林毅 申請（專利權）人 中電科技德清華瑩電子有限公司
代理機構 杭州豐禾專利事務所有限公司 代理人 王鵬舉
地址 313200浙江省湖州市武康志遠北路188號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種聲表面波器件，包括壓電襯底、制作在壓電襯底表面的金屬電極結(jié)構，壓電襯底表面上至少有一個有效聲表面波傳輸通道區(qū)域邊緣鑲嵌有金屬體，作為聲表面波聲波導的側(cè)壁；本發(fā)明提出一種構造壓電襯底表面橫向抑制聲波導的新技術：在壓電襯底表面鑲嵌金屬體，作為聲表面波聲波導的硬側(cè)壁，利用表面鑲嵌金屬體對傳輸?shù)穆暠砻娌ǚ瓷?、衍射和壓電短路效應，直接在壓電襯底表面制作出器件所需要的聲表面波傳輸聲道，引導聲表面波按設計規(guī)范傳輸。??