一種硅片清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620973422.1 申請日 -
公開（公告）號 CN206076206U 公開（公告）日 2017-04-05
申請公布號 CN206076206U 申請公布日 2017-04-05
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李杰;周立鋼 申請（專利權(quán)）人 溫州博樂工業(yè)設計有限公司
代理機構(gòu) 北京富天文博興知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 溫州博樂工業(yè)設計有限公司
地址 325000 浙江省溫州市鹿城區(qū)學院中路7號D幢102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅片清洗裝置，其中，包括清洗系統(tǒng)、清洗液循環(huán)系統(tǒng)和水循環(huán)系統(tǒng)，所述清洗系統(tǒng)包括洗滌槽，所述洗滌槽內(nèi)具有清洗腔和漂洗腔，所述清洗液循環(huán)系統(tǒng)和清洗腔貫通連接，所述水循環(huán)系統(tǒng)和漂洗腔貫通連接，所述洗滌槽的側(cè)壁上設置有若干個上噴頭，所述洗滌槽的底面上設置有若干個下噴頭，所述洗滌槽中間的隔離架的兩側(cè)均可拆卸設置有硅片夾，所述隔離架一側(cè)的硅片夾向下延伸到清洗腔內(nèi)，所述隔離架另一側(cè)的硅片夾向下延伸到所述和漂洗腔內(nèi)。由于本實用新型具有清洗系統(tǒng)、清洗液循環(huán)系統(tǒng)和水循環(huán)系統(tǒng)，使得本實用新型清洗效率高且節(jié)約水資源。