靶材濺射裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021429934.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212955323U | 公開（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212955323U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-13 |
| 分類號(hào) | C23C14/35(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 溫艷玲;焦曉希;張學(xué)智 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 河北冠靶科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京化育知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 尹均利 |
| 地址 | 050000河北省石家莊市興業(yè)街與火炬路交叉口西北角 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了靶材濺射裝置，包括底座，所述底座的上端中部固定連接有兩個(gè)支撐板，兩個(gè)所述支撐板的右端下部均開有移動(dòng)口，兩個(gè)所述支撐板的相對(duì)面上部共同固定連接有限位桿，右側(cè)所述支撐板的右端上部穿插活動(dòng)連接有移動(dòng)裝置，所述底座的上端中部開有滑槽，所述滑槽內(nèi)滑動(dòng)連接有放置裝置，所述底座的上端左部和上端右部均固定連接有擋板，右側(cè)所述擋板的右端下部穿插固定連接有推動(dòng)裝置。本實(shí)用新型所述的靶材濺射裝置，通過設(shè)置放置裝置和推動(dòng)裝置，便于兩個(gè)靶材交替進(jìn)行鍍膜，縮短了更換靶材的時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率，通過設(shè)置移動(dòng)裝置，提高了對(duì)靶材轟擊的均勻性，延長了靶材的使用壽命。?? |
