一種單晶爐籽晶冷卻桿及晶種附近熔體溫度梯度調(diào)整方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201910486470.6 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN110106552A | 公開(公告)日 | 2019-08-09 |
申請公布號 | CN110106552A | 申請公布日 | 2019-08-09 |
分類號 | C30B29/20;C30B15/20 | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 高佑君;王維林 | 申請(專利權)人 | 山西華晶恒基新材料有限公司 |
代理機構 | 太原晉科知識產(chǎn)權代理事務所(特殊普通合伙) | 代理人 | 趙科 |
地址 | 034000 山西省忻州市忻府區(qū)開發(fā)區(qū)汾源街項目孵化基地 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種單晶爐籽晶冷卻桿,包括冷卻管,所述冷卻管設置有進水口和出水口,所述冷卻管包括相互套接的內(nèi)冷套管和外冷套管,所述內(nèi)冷套管、外冷套管各自設置進出水口,所述內(nèi)冷套管設置有其相對于外冷套管的第一位移傳感器,所述外冷套管設置有其相對于單晶爐的第二位移傳感器。本發(fā)明通過增加一個活動的內(nèi)冷套管,通過內(nèi)、外冷套管相對位置的變化,避免了現(xiàn)有技術中只能被動接受整體的熔體溫度梯度,實現(xiàn)了對籽晶及籽晶附近熔體溫度梯度的調(diào)整,極大的提高了引晶效率和放肩效率,具有較大的經(jīng)濟效益。 |
