一種發(fā)光元件基板及其高品質(zhì)發(fā)光元件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122066002.9 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN216054757U 公開(公告)日 2022-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN216054757U 申請(qǐng)公布日 2022-03-15
分類號(hào) H01L33/22(2010.01)I;H01L33/44(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄺光寧;江仁杰;李志杰 申請(qǐng)(專利權(quán))人 山西華晶恒基新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 太原達(dá)引擎專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 朱世婷
地址 030000山西省忻州市開發(fā)區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型具體涉及一種發(fā)光元件基板及其高品質(zhì)發(fā)光元件,屬于半導(dǎo)體發(fā)光元件技術(shù)領(lǐng)域,所要解決的問題是提供一種提高磊晶層生長(zhǎng)品質(zhì)穩(wěn)定性的發(fā)光元件基板及其高品質(zhì)發(fā)光元件,采用的方案為:透明基板本體的一個(gè)表面分布有多個(gè)圓臺(tái)凸部,多個(gè)圓臺(tái)凸部呈陣列均勻排布,相鄰的圓臺(tái)凸部之間設(shè)置有空隙,相鄰的圓臺(tái)凸部上部的平坦結(jié)構(gòu)一之間的間距介于0.5μm至2.5μm之間;中介層分布于平坦結(jié)構(gòu)一上,中介層由多個(gè)微凸塊組合而成,多個(gè)微凸塊呈陣列均勻排布,每個(gè)微凸塊的頂部為平坦結(jié)構(gòu)二;以及其高品質(zhì)發(fā)光元件;本實(shí)用新型增加了磊晶成長(zhǎng)的速度,改善了透明基板本體與磊晶層的晶格不匹配問題。