一種發(fā)光元件基板及其高品質發(fā)光元件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122066002.9 申請日 -
公開（公告）號 CN216054757U 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN216054757U 申請公布日 2022-03-15
分類號 H01L33/22（2010.01）I;H01L33/44（2010.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄺光寧;江仁杰;李志杰 申請（專利權）人 山西華晶恒基新材料有限公司
代理機構 太原達引擎專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 朱世婷
地址 030000山西省忻州市開發(fā)區(qū)半導體產業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型具體涉及一種發(fā)光元件基板及其高品質發(fā)光元件，屬于半導體發(fā)光元件技術領域，所要解決的問題是提供一種提高磊晶層生長品質穩(wěn)定性的發(fā)光元件基板及其高品質發(fā)光元件，采用的方案為：透明基板本體的一個表面分布有多個圓臺凸部，多個圓臺凸部呈陣列均勻排布，相鄰的圓臺凸部之間設置有空隙，相鄰的圓臺凸部上部的平坦結構一之間的間距介于0.5μm至2.5μm之間；中介層分布于平坦結構一上，中介層由多個微凸塊組合而成，多個微凸塊呈陣列均勻排布，每個微凸塊的頂部為平坦結構二；以及其高品質發(fā)光元件；本實用新型增加了磊晶成長的速度，改善了透明基板本體與磊晶層的晶格不匹配問題。