一種硅片清洗瀝干裝置及清洗烘干裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921171074.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210167332U 公開(kāi)（公告）日 2020-03-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN210167332U 申請(qǐng)公布日 2020-03-20
分類號(hào) H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫辰;姚凱同;袁黎平;張?chǎng)?/td> 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 祿豐隆基硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 無(wú)錫隆基硅材料有限公司
地址 651200 云南省楚雄彝族自治州祿豐縣金山鎮(zhèn)侏羅紀(jì)大街1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅片清洗瀝干裝置及清洗烘干裝置，包括花籃工裝、瀝干支架、提升機(jī)構(gòu)和烘干支架；瀝干支架具有瀝干傾斜面，烘干支架具有烘干傾斜面；烘干支架設(shè)置在烘干槽的底部，瀝干支架設(shè)置在清洗槽中，且能相對(duì)清洗槽進(jìn)行升降；花籃工裝底部能傾斜放置在瀝干傾斜面或烘干傾斜面上，花籃工裝用于設(shè)置硅片。通過(guò)搬運(yùn)時(shí)和搬運(yùn)后形態(tài)的改變，使水殘留在硅片間移動(dòng)，破壞水體張力，減少水分殘留。本申請(qǐng)能使清洗的硅片，在烘干前，快速進(jìn)行瀝水，瀝除多余殘水，節(jié)省烘干時(shí)間，在保證烘干質(zhì)量的前提下，提高產(chǎn)能。同時(shí)，在烘干前，硅片底部無(wú)水體殘留，從而進(jìn)一步節(jié)省烘干時(shí)間，提升烘干效果。