一種新型硅片清洗機(jī)烘干結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820800199.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN208349787U 公開(kāi)（公告）日 2019-01-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN208349787U 申請(qǐng)公布日 2019-01-08
分類號(hào) F26B21/00;F26B21/02 分類 干燥;
發(fā)明人 劉鋒;袁黎平;王宇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 祿豐隆基硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 無(wú)錫隆基硅材料有限公司
地址 651200 云南省楚雄彝族自治州祿豐縣金山鎮(zhèn)侏羅紀(jì)大街1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種新型硅片清洗機(jī)烘干結(jié)構(gòu)，包括槽體、置于槽體上部的上蓋、風(fēng)機(jī)，所述的槽體上部邊緣處設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口，所述的上蓋和槽體進(jìn)風(fēng)口對(duì)應(yīng)的位置也設(shè)置有進(jìn)風(fēng)口；所述的風(fēng)機(jī)設(shè)置于槽體底部，與進(jìn)風(fēng)口連接并通過(guò)進(jìn)風(fēng)口提供熱風(fēng)至槽體內(nèi)，所述的槽體底部風(fēng)機(jī)處設(shè)置有與風(fēng)機(jī)連接的出風(fēng)口，熱風(fēng)經(jīng)槽體內(nèi)部流通后經(jīng)底部出風(fēng)口循環(huán)回風(fēng)機(jī)。本實(shí)用新型提供的硅片清洗機(jī)烘干結(jié)構(gòu)可有效提高提高產(chǎn)品的良率，并提高烘干效率。