一種新型硅片清洗機烘干結(jié)構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820800199.X 申請日 -
公開（公告）號 CN208349787U 公開（公告）日 2019-01-08
申請公布號 CN208349787U 申請公布日 2019-01-08
分類號 F26B21/00;F26B21/02 分類 干燥;
發(fā)明人 劉鋒;袁黎平;王宇 申請（專利權）人 祿豐隆基硅材料有限公司
代理機構 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 代理人 無錫隆基硅材料有限公司
地址 651200 云南省楚雄彝族自治州祿豐縣金山鎮(zhèn)侏羅紀大街1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種新型硅片清洗機烘干結(jié)構，包括槽體、置于槽體上部的上蓋、風機，所述的槽體上部邊緣處設置有進風口，所述的上蓋和槽體進風口對應的位置也設置有進風口；所述的風機設置于槽體底部，與進風口連接并通過進風口提供熱風至槽體內(nèi)，所述的槽體底部風機處設置有與風機連接的出風口，熱風經(jīng)槽體內(nèi)部流通后經(jīng)底部出風口循環(huán)回風機。本實用新型提供的硅片清洗機烘干結(jié)構可有效提高提高產(chǎn)品的良率，并提高烘干效率。