一種硅片加工用的新型花籃

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822031145.4 申請日 -
公開(公告)號 CN209150066U 公開(公告)日 2019-07-23
申請公布號 CN209150066U 申請公布日 2019-07-23
分類號 H01L21/673;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王宇 申請(專利權(quán))人 祿豐隆基硅材料有限公司
代理機構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 代理人 無錫隆基硅材料有限公司
地址 651200 云南省楚雄彝族自治州祿豐縣金山鎮(zhèn)侏羅紀大街1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種硅片加工用的新型花籃,其包括框架本體,框架本體內(nèi)兩側(cè)設(shè)置有側(cè)桿,框架本體的下端設(shè)置有擋桿,框架本體的外側(cè)兩端設(shè)置有耳座,其特征在于:所述的側(cè)桿上設(shè)置有一排葵花籽形側(cè)桿齒,所述的側(cè)桿齒均勻的設(shè)置于兩側(cè)的側(cè)桿上,所述側(cè)桿的兩端部設(shè)置有調(diào)節(jié)裝置,用于調(diào)節(jié)兩根側(cè)桿之間的間距。本實用新型為一種可降低硅片棱邊破損,提高硅片加工效率的新型花籃。