一種用于晶圓電鍍的蜂窩板及其裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821319263.9 申請日 -
公開(公告)號 CN208869681U 公開(公告)日 2019-05-17
申請公布號 CN208869681U 申請公布日 2019-05-17
分類號 C25D7/12(2006.01)I; C25D17/00(2006.01)I 分類 電解或電泳工藝;其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 李云華 申請(專利權(quán))人 深圳市創(chuàng)智誠泰科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 518100 廣東省深圳市新安街道67區(qū)中糧創(chuàng)智廠區(qū)1棟廠房1403-1405室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于晶圓電鍍的蜂窩板,蜂窩板設(shè)于被電鍍晶圓與電鍍陽極之間,為圓形板,所述蜂窩板的厚度為1?50mm,其表面布設(shè)有通孔,所述通孔的任一橫截面積為5?5000mm2,所述通孔的分布密度范圍為每張蜂窩板20?15000個,所述蜂窩板的面積為晶圓面積的0.8?1.2倍。同時提供了該蜂窩板用于晶圓電鍍的裝置,包括:電機,其為蜂窩板旋轉(zhuǎn)提供動力,所述電機通過傳動裝置與蜂窩板傳動連接,用于帶動蜂窩板旋轉(zhuǎn)。本實用新型的蜂窩板通過通孔大小、分布密度和形狀來調(diào)節(jié)在陰極的電力線密度,當(dāng)旋轉(zhuǎn)后,可進一步分散電力線的密度差異,使鍍層的均一性更好,無需設(shè)計制作特殊的掛具,制造成本大幅降低,且維護簡便。