一種提高硅片切割質(zhì)量的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710354721.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108943454A 公開（公告）日 2018-12-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN108943454A 申請(qǐng)公布日 2018-12-07
分類號(hào) B28D5/04;C10M173/02 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 薛士華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州順風(fēng)光電材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州知融專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 常州順風(fēng)光電材料有限公司
地址 213164 江蘇省常州市武進(jìn)區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)新典路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種提高硅片切割質(zhì)量的方法，該方法是將對(duì)硅片進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光的拋光液的成分加入到硅片切割工藝的切割液中，形成新的切割液對(duì)硅片進(jìn)行切割。本發(fā)明通過將CMP拋光液中有效成分導(dǎo)入切割工藝，提高加工速度，提高加工質(zhì)量；使用新的尼龍切割絲代替舊的細(xì)鋼絲，節(jié)約了成本，尼龍絲采用纏繞設(shè)計(jì)，能更好的攜帶切割漿料，提高了加工精度。