一種微型薄膜外延結(jié)構(gòu)層轉(zhuǎn)移方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711012018.3 申請日 -
公開（公告）號 CN107808911B 公開（公告）日 2020-04-07
申請公布號 CN107808911B 申請公布日 2020-04-07
分類號 H01L33/00;H01L33/32 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃慧詩;張秀敏;田淑芬;賈美琳 申請（專利權(quán)）人 江蘇星光恒輝半導體有限公司
代理機構(gòu) 無錫市大為專利商標事務所（普通合伙） 代理人 江蘇新廣聯(lián)半導體有限公司
地址 214192 江蘇省無錫市錫山經(jīng)濟開發(fā)區(qū)團結(jié)北路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種微型薄膜外延結(jié)構(gòu)層轉(zhuǎn)移方法，包括如下步驟：制作外延層?制作磁性金屬層?制作粘合層?形成外延層單元結(jié)構(gòu)?去除掩膜層?轉(zhuǎn)移到中轉(zhuǎn)基板上?剝離襯底?轉(zhuǎn)移到吸頭上?轉(zhuǎn)移到基板上?布線；本發(fā)明通過磁性中轉(zhuǎn)基板和具有磁性的轉(zhuǎn)移吸頭，可以實現(xiàn)LED薄膜外延層周期性、批量化的轉(zhuǎn)移至基板上，進一步實現(xiàn)單色、雙色、全彩的柔性顯示。