一種微細(xì)硫化銦粉體及靶材的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110550527.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113213938A 公開（公告）日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113213938A 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) C04B35/547（2006.01）I;C04B35/626（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/645（2006.01）I;C01G15/00（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 沈文興;白平平;童培云;謝小豪 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 先導(dǎo)薄膜材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 顏希文;朱燕華
地址 230000安徽省合肥市新站區(qū)龍子湖路與通淮南路交口西北角
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種微細(xì)硫化銦粉體及靶材的制備方法，所述微細(xì)硫化銦粉體的制備方法包括如下步驟：將H2S氣體通入In2（SO4）3溶液中，攪拌下反應(yīng)合成硫化銦，反應(yīng)結(jié)束后，對(duì)合成產(chǎn)物進(jìn)行漂洗、過(guò)濾、煅燒、球磨及過(guò)篩，得到粒度D90為20～40μm的硫化銦粉體；將硫化銦粉體進(jìn)行氣流粉碎，氣流粉碎的加料壓力和粉碎壓力為8～12kg，加料速度為3～5kg/h的勻速，加料結(jié)束后繼續(xù)通氣3～5min，得到D90＜5μm的微細(xì)硫化銦粉體。本發(fā)明制得的硫化銦粉體為四方結(jié)構(gòu)的β?In2S3，粒度D90＜5μm，將其用于制備靶材，利于提高靶材的品質(zhì)，使靶材的平均晶粒度＜5μm，電阻率＜0.5KΩ/cm，相對(duì)密度≥97％，雜質(zhì)含量低，濺射所形成薄膜的穩(wěn)定性好、厚度分布均勻、及晶粒大小一致。