一種晶圓涂布夾具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120862536.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN214335462U | 公開（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214335462U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-01 |
| 分類號(hào) | G03F7/16（2006.01）I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 李濤;尚海;雷紫昂 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 杭州美迪凱光電科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州華知專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張德寶 |
| 地址 | 310000浙江省杭州市杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)白楊街道20號(hào)大街578號(hào)3幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種晶圓涂布夾具，包括吸附頭，吸附頭包括用于與外部電機(jī)連接的底座和水平固定在所述底座頂端的定位夾具承載平臺(tái)，定位夾具承載平臺(tái)頂端固定連接吸附平臺(tái)，吸附平臺(tái)上開設(shè)有吸孔槽，底座內(nèi)設(shè)置中空通道，吸孔槽通過真空吸氣孔連通中空通道，定位夾具承載平臺(tái)上套有定位夾具。本實(shí)用新型在定位夾具承載平臺(tái)設(shè)置定位夾具，圓形的定位夾具可依據(jù)晶圓尺寸設(shè)計(jì)，對(duì)不同尺寸的晶圓具有高度適用性，定位夾具設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，制作成本低，不同尺寸晶圓只需更換定位夾具即可使用，不需重新制作整個(gè)晶圓涂布夾具，成本和效率大大提高，適合推廣應(yīng)用；定位夾具的設(shè)置又可阻止作業(yè)時(shí)油墨離心甩出去撞到機(jī)器后反彈回來對(duì)晶圓產(chǎn)品背面造成污染。 |
