一種塊體材料平面透射電鏡樣品的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011314203.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112444435A | 公開（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112444435A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-05 |
| 分類號(hào) | G01N1/28(2006.01)I;G01N23/20008(2018.01)I;G01N23/04(2018.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 付新;賈榮光;李聰;于海燕;何少卿;杜志偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 國標(biāo)（北京）檢驗(yàn)認(rèn)證有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京眾合誠成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 黃家俊 |
| 地址 | 100088北京市西城區(qū)新街口外大街2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了屬于透射電鏡制樣與分析技術(shù)領(lǐng)域的一種塊體材料平面透射電鏡樣品的制備方法。具體步驟為1)將塊體材料加工成薄片，固定于減薄用的環(huán)體表面；2)將薄片減薄至中心出現(xiàn)孔洞；3)在孔洞邊緣觀察粗定位，確定待分析制樣的矩形選區(qū)；4)在分析制樣的矩形選區(qū)表面沉積保護(hù)層；5)將鍍過保護(hù)層的矩形選區(qū)三邊切空，將截面修理平整；6)將納米機(jī)械手與第四邊的對(duì)邊截面焊接后將第四邊切空，矩形選區(qū)與薄片脫離；7)提取矩形選區(qū)焊接至FIB載網(wǎng)的柱體上；8)調(diào)整樣品臺(tái)使離子束垂直于矩形選區(qū)的截面入射，截面鍍保護(hù)層，然后最終減薄，得到平面透射電鏡樣品。本發(fā)明是一種簡單易行的定點(diǎn)制備塊體材料平面透射電鏡樣品的方法。?? |
