一種飛秒激光制備掩膜版的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210449705.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114683009A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114683009A 申請公布日 2022-07-01
分類號 B23P15/00（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I 分類 機床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 王學文;廉思甜;麥立強;柴年垚;喻科菘;潘雪雷;蔡智君 申請（專利權）人 佛山仙湖實驗室
代理機構 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 代理人 -
地址 528200廣東省佛山市南海區(qū)丹灶鎮(zhèn)仙湖度假區(qū)陽光路3號仙湖灣商業(yè)廣場C座內C1號辦公室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種飛秒激光制備掩膜版的方法，包括如下步驟：步驟一：剪裁金屬箔片；步驟二：將金屬箔片包裹在蓋玻片一面；步驟三：清潔金屬箔片表面；步驟四：在金屬箔片上通過飛秒激光技術刻蝕出刻蝕槽，制成掩膜版。本方案通過使用飛秒激光加工掩膜版替代了以往的通過使用光刻機和光刻膠進行曝光的工藝，本方案無需使用光刻膠，掩膜版制作過程環(huán)保，并且通過飛秒激光直接蝕刻，加工速度快，可有效節(jié)省加工時間。