一種利用合金相變校準MOCVD設備溫度的裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911124525.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111006768A 公開（公告）日 2020-04-14
申請公布號 CN111006768A 申請公布日 2020-04-14
分類號 G01J5/00(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 朱明星;李華;周少將;王偉明 申請（專利權）人 江蘇宜興德融科技有限公司
代理機構 中科專利商標代理有限責任公司 代理人 江蘇宜興德融科技有限公司
地址 214213江蘇省無錫市宜興市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)騰飛路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種利用合金相變校準MOCVD設備溫度的裝置，包括：校溫片，所述校溫片包括相變材料層，所述相變材料層具有預定的相變溫度點，所述校溫片設置于MOCVD設備的樣品處，通過相變材料層發(fā)生相變反應時校溫片表面激光反射率突變來獲得樣品處的真實溫度。本公開可在沒有黑體爐及被測材料發(fā)射率參數(shù)未知情況下，對紅外測溫曲線進行校正，解決了MOCVD系統(tǒng)中紅外測溫曲線偏離真實樣品溫度的問題。??