光致發(fā)光檢測裝置及檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010185325.7 申請日 -
公開(公告)號 CN111341687A 公開(公告)日 2020-06-26
申請公布號 CN111341687A 申請公布日 2020-06-26
分類號 H01L21/66(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 周少將;李華;房春華;王偉明 申請(專利權(quán))人 江蘇宜興德融科技有限公司
代理機構(gòu) 中科專利商標代理有限責任公司 代理人 江蘇宜興德融科技有限公司
地址 214213江蘇省無錫市宜興市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)騰飛路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光致發(fā)光檢測裝置及檢測方法,用于太陽能電池的檢測,光致發(fā)光檢測裝置包括:平臺,光源組,所述光源組設(shè)置于所述平臺的上方的光源平面上;成像組,所述成像組設(shè)置于所述光源平面的上方。通過該光致發(fā)光檢測裝置可以實現(xiàn)在一次性照射成像過程中,同時檢測單個樣品中的所有材料的所有波長、以及同時檢測多個樣品的成像數(shù)據(jù),進一步提高了每次的檢測樣品數(shù)量,結(jié)合自動化進料部和出料部的設(shè)計,增強了本設(shè)備的檢測能力和自動化程度,極大地提高了樣品檢測的效率。最后,通過采用LED光源作為光源組的檢測光的激發(fā)光源,替代率傳統(tǒng)的激光光源,降低了光源成本,利于該光致發(fā)光檢測裝置在工業(yè)化生產(chǎn)過程中的應(yīng)用普及。??