形成金屬硅化物的方法及其濕法腐蝕混合液配方

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410397826.6 申請日 -
公開（公告）號 CN105336600B 公開（公告）日 2019-04-19
申請公布號 CN105336600B 申請公布日 2019-04-19
分類號 H01L21/285（2006.01）I; C23F1/02（2006.01）I; C23F1/28（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 崔虎山; 羅軍; 劉慶波; 王桂磊; 盧一泓; 楊濤; 殷華湘; 李俊峰; 趙超 申請（專利權(quán)）人 北京中科微投資管理有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 北京藍(lán)智輝煌知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳紅
地址 100010 北京市東城區(qū)大取燈胡同2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種形成金屬硅化物的方法，包括：在含單晶、非晶、多晶硅的晶圓表面上沉積鎳基金屬，含有鎳以及至少第二種金屬；進(jìn)行退火，使得鎳基金屬與暴露區(qū)域的硅反應(yīng)形成鎳基金屬硅化物，比如位于源漏、柵極區(qū)域；采用濕法腐蝕混合液，在不損失剛形成的金屬硅化物的同時選擇性的濕法腐蝕去除未跟硅反應(yīng)的鎳基金屬，其中混合液配方包含碘鹽、單質(zhì)碘、有機或無機酸和溶劑。依照本發(fā)明的金屬硅化物工藝以及所使用的選擇性濕法腐蝕混合液，通過合理調(diào)整濕法腐蝕液的各組分配比，在較低溫度下獲得了壽命較長的化學(xué)活性組分，從而降低了濕法腐蝕機臺的配置要求，且降低了工藝成本、提高了工藝穩(wěn)定性。