一種半導(dǎo)體級(jí)過氧化氫水溶液的制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910900025.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110577195B | 公開（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110577195B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-28 |
| 分類號(hào) | C01B15/013(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 白秀君;周繼業(yè);汪永超;湯磊硼;朱潔潔 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 杭州精欣化工有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州浙科專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳秉中 |
| 地址 | 311322浙江省杭州市臨安區(qū)龍崗鎮(zhèn)龍都街858號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體級(jí)過氧化氫水溶液的制備方法，該方法以工業(yè)級(jí)過氧化氫為原料，具體包括以下步驟：（1）以工業(yè)級(jí)過氧化氫水溶液為原料作為反滲透系統(tǒng)的進(jìn)水，通過已經(jīng)過膜預(yù)處理的一組或多組反滲透系統(tǒng)；（2）獲得的產(chǎn)水依次通過已經(jīng)過轉(zhuǎn)化的1組或多組由陽離子交換樹脂、螯合樹脂和陰離子交換樹脂組成的樹脂提純系統(tǒng)；（3）上步獲得的物料通過1組或多組濾芯循環(huán)系統(tǒng)過濾，得到目標(biāo)半導(dǎo)體級(jí)過氧化氫水溶液。本發(fā)明生產(chǎn)出可用于7nm半導(dǎo)體芯片制造過程中的蝕刻和清洗用的半導(dǎo)體級(jí)過氧化氫水溶液，且造成污染小，生產(chǎn)成本較低。?? |
