一種半導(dǎo)體級過氧化氫水溶液的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910900025.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110577195A 公開（公告）日 2019-12-17
申請公布號 CN110577195A 申請公布日 2019-12-17
分類號 C01B15/013（2006.01） 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 白秀君; 周繼業(yè); 汪永超; 湯磊硼; 朱潔潔 申請（專利權(quán)）人 杭州精欣化工有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州浙科專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳秉中
地址 311322 浙江省杭州市臨安區(qū)龍崗鎮(zhèn)龍都街858號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體級過氧化氫水溶液的制備方法，該方法以工業(yè)級過氧化氫為原料，具體包括以下步驟：（1）以工業(yè)級過氧化氫水溶液為原料作為反滲透系統(tǒng)的進(jìn)水，通過已經(jīng)過膜預(yù)處理的一組或多組反滲透系統(tǒng)；（2）獲得的產(chǎn)水依次通過已經(jīng)過轉(zhuǎn)化的1組或多組由陽離子交換樹脂、螯合樹脂和陰離子交換樹脂組成的樹脂提純系統(tǒng)；（3）上步獲得的物料通過1組或多組濾芯循環(huán)系統(tǒng)過濾，得到目標(biāo)半導(dǎo)體級過氧化氫水溶液。本發(fā)明生產(chǎn)出可用于7nm半導(dǎo)體芯片制造過程中的蝕刻和清洗用的半導(dǎo)體級過氧化氫水溶液，且造成污染小，生產(chǎn)成本較低。