一種循環(huán)式掃描曝光機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920922491.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN210005856U 公開（公告）日 2020-01-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN210005856U 申請(qǐng)公布日 2020-01-31
分類號(hào) G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 蔡志國;張米好;江俊龍;農(nóng)遠(yuǎn)峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳凱世光研股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市千納專利代理有限公司 代理人 劉洋
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)興業(yè)路3012號(hào)老兵大廈西座二樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及光學(xué)設(shè)備領(lǐng)域，解決現(xiàn)有工件曝光設(shè)備曝光效率低的問題。本申請(qǐng)公開了一種循環(huán)式掃描曝光機(jī)，包括有底座，設(shè)置在底座上的曝光臺(tái)，以及曝光裝置，曝光臺(tái)上分別設(shè)有兩組用于工件供料的左供料機(jī)構(gòu)和右供料機(jī)構(gòu)，曝光裝置支架上設(shè)有驅(qū)動(dòng)一排以上的曝光裝置移動(dòng)的曝光裝置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；底座上設(shè)有驅(qū)動(dòng)曝光裝置支架垂直曝光裝置支架移動(dòng)的曝光裝置支架驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。左供料機(jī)構(gòu)和右供料機(jī)構(gòu)可以同時(shí)把工件托起準(zhǔn)備曝光，當(dāng)左邊的工件曝光完畢，曝光裝置移動(dòng)到右邊的工件直接進(jìn)行曝光，同時(shí)左邊的供料機(jī)構(gòu)把曝光的工件傳送出料，再把左邊支撐柱組件上未曝光的工件傳送托起準(zhǔn)備曝光，依次循環(huán)；傳感器用于檢測工件是否彎曲，從而剔除不合格的工件；從而曝光效率高，不需要有上料等待時(shí)間。