一種氣相沉積裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011528221.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112760616A 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN112760616A 申請公布日 2021-05-07
分類號 C23C16/52(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 胡祥龍;周岳兵;戴煜;許鵬;王艷艷 申請（專利權(quán)）人 湖南頂立科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉奕
地址 410118湖南省長沙市長沙經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)星沙產(chǎn)業(yè)基地藍(lán)田北路以東、涼塘東路以北、雙塘路以西湖南頂立科技有限公司內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開一種氣相沉積裝置，包括，殼體、料盤、傳動軸組件以及驅(qū)動裝置，其中，所述料盤設(shè)置在所述殼體的內(nèi)腔，所述料盤用于承載工件；傳動軸組件設(shè)置在所述料盤下方，與所述料盤連接；驅(qū)動裝置設(shè)置在所述殼體外部，與所述傳動軸組件遠(yuǎn)離所述料盤的一端連接，所述驅(qū)動裝置被配置為：帶動所述傳動軸組件轉(zhuǎn)動的同時(shí)使得所述傳動軸組件沿軸向方向移動。本申請?zhí)峁┑臍庀喑练e裝置，相較于現(xiàn)有技術(shù)而言，可以提高工件表面沉積厚度的均勻性，提高工件表面質(zhì)量。??