一種薄膜太陽能電池的生產方法及其電沉積裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310110497.8 申請日 -
公開（公告）號 CN104091854B 公開（公告）日 2017-06-20
申請公布號 CN104091854B 申請公布日 2017-06-20
分類號 H01L31/18(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張征宇;李偉中 申請（專利權）人 恒基偉業(yè)投資發(fā)展集團有限公司
代理機構 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 代理人 北京恒基偉業(yè)投資發(fā)展有限公司;北京恒昶動力科技有限公司
地址 100083 北京市海淀區(qū)中關村東路18號財智國際大廈C座10層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的一種薄膜太陽能電池的生產方法及其電沉積裝置，其方法包括：在玻璃基底上沉積透明導電層；在所述透明導電層上成形窗口層；在所述窗口層上電沉積吸收層；移除所述接觸電極，在原所述接觸電極處產生接觸電極空缺；劃第一溝槽步驟；填充所述第一溝槽和剩余的接觸電極空缺；劃第二溝槽步驟；沉積背接觸層和背電極；劃第三溝槽步驟；所述接觸電極空缺的位置與所述第一溝槽和/或第二溝槽和/或第三溝槽所在的位置部分或全部重疊?，F(xiàn)有技術中的生產太陽能電池的裝置和方法中太陽能電池的單位面積里參與光電轉換的有效面積小，進而提供一種單位面積里參與光電轉換的有效面積更大的薄膜太陽能電池的生產方法及其電沉積裝置。