一種薄膜太陽能電池的生產(chǎn)方法及其電沉積裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410225488.8 申請日 -
公開（公告）號 CN105206703B 公開（公告）日 2018-04-27
申請公布號 CN105206703B 申請公布日 2018-04-27
分類號 H01L31/18;C25D17/12 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張征宇;李偉中 申請（專利權(quán)）人 恒基偉業(yè)投資發(fā)展集團有限公司
代理機構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京恒基偉業(yè)投資發(fā)展有限公司
地址 100083 北京市海淀區(qū)中關(guān)村東路18號財智國際大廈C座10層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明所述薄膜太陽能電池生產(chǎn)方法，所述第一溝槽內(nèi)填充與吸收層相同的物質(zhì)，所述吸收層的物質(zhì)為半導體，并在長條接觸電極空缺內(nèi)直接填充與背電極層相同的物質(zhì)，背電極與吸收層直接的接觸的電阻很大，因而不會對太陽能電池單元的串聯(lián)有影響；即在薄膜太陽能電池中不需要填充電絕緣物質(zhì)，而電絕緣物質(zhì)不參與光電轉(zhuǎn)換，即減少了死區(qū)面積，從而避免了電絕緣物質(zhì)對太陽能電池的占用，提高了太陽能電池參與光電轉(zhuǎn)換的面積。此外，當所使用的接觸電極為長條接觸電極，電沉積完畢后移除長條接觸電極所得到的長條接觸電極空缺代替了原先需要刻劃的溝槽的工序，對生產(chǎn)材料的浪費減少，而且節(jié)省了工序，進而降低了生產(chǎn)成本。