一種旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110646193.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113463043A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113463043A 申請公布日 2021-10-01
分類號 C23C14/34（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;B22D19/00（2006.01）I;B22D27/04（2006.01）I;B22D27/00（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 沈文興;白平平;童培云 申請（專利權(quán)）人 先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 顏希文
地址 511517廣東省清遠(yuǎn)市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號A區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法，涉及靶材制備領(lǐng)域。本發(fā)明所述一種旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法，包括如下步驟：（1）將背管放入涂有脫模劑的模具中，密封后將模具放入到爐膛中，排除空氣后對爐膛進(jìn)行加熱保溫；（2）將金屬錠子加熱熔化后，沿著模具上的澆注口管道注入到模具中，保溫一段時間后，關(guān)閉加熱電源，冷卻至金屬熔點以下20?30℃，依次自下而上冷卻，直至完全冷卻至室溫；（3）打開模具，將靶材取出后進(jìn)行加工，得到所述旋轉(zhuǎn)靶材。