氣密性檢測(cè)裝置
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022812292.2 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN214121522U | 公開(kāi)(公告)日 | 2021-09-03 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN214121522U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-03 |
分類號(hào) | G01M3/20(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量;測(cè)試; |
發(fā)明人 | 梁國(guó)泰;黃宇彬;童培云;朱劉;何坤鵬 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 先導(dǎo)薄膜材料(廣東)有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京五洲洋和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 張向琨 |
地址 | 511517廣東省清遠(yuǎn)市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號(hào)A區(qū) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本公開(kāi)提供了一種氣密性檢測(cè)裝置,其用于對(duì)靶材組件進(jìn)行氣密性檢測(cè),所述氣密性檢測(cè)裝置包括:支撐板,所述靶材組件密封設(shè)置于所述支撐板的上方,并與所述支撐板形成腔體,所述支撐板設(shè)有與所述腔體連通的通孔;氣體提供裝置,用于向所述靶材組件背離所述腔體的一側(cè)釋放檢測(cè)氣體;氣體檢測(cè)裝置,所述氣體檢測(cè)裝置的一端連通所述通孔,以對(duì)所述腔體內(nèi)的氣體進(jìn)行檢測(cè)。本公開(kāi)的氣密性檢測(cè)裝置能夠?qū)⑶惑w內(nèi)的氣體抽出并進(jìn)行檢測(cè),從而對(duì)靶材組件的氣密性進(jìn)行有效地檢測(cè),保證了用于濺射的靶材組件在濺射過(guò)程中具有良好的氣密性。 |
