氣密性檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022812292.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN214121522U 公開(kāi)(公告)日 2021-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN214121522U 申請(qǐng)公布日 2021-09-03
分類號(hào) G01M3/20(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 梁國(guó)泰;黃宇彬;童培云;朱劉;何坤鵬 申請(qǐng)(專利權(quán))人 先導(dǎo)薄膜材料(廣東)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京五洲洋和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 張向琨
地址 511517廣東省清遠(yuǎn)市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號(hào)A區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開(kāi)提供了一種氣密性檢測(cè)裝置,其用于對(duì)靶材組件進(jìn)行氣密性檢測(cè),所述氣密性檢測(cè)裝置包括:支撐板,所述靶材組件密封設(shè)置于所述支撐板的上方,并與所述支撐板形成腔體,所述支撐板設(shè)有與所述腔體連通的通孔;氣體提供裝置,用于向所述靶材組件背離所述腔體的一側(cè)釋放檢測(cè)氣體;氣體檢測(cè)裝置,所述氣體檢測(cè)裝置的一端連通所述通孔,以對(duì)所述腔體內(nèi)的氣體進(jìn)行檢測(cè)。本公開(kāi)的氣密性檢測(cè)裝置能夠?qū)⑶惑w內(nèi)的氣體抽出并進(jìn)行檢測(cè),從而對(duì)靶材組件的氣密性進(jìn)行有效地檢測(cè),保證了用于濺射的靶材組件在濺射過(guò)程中具有良好的氣密性。