一種高純TeO

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110277712.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113511882A 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN113511882A 申請公布日 2021-10-19
分類號 C04B35/01（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/645（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 吳彩紅;文崇斌 申請（專利權(quán)）人 先導(dǎo)薄膜材料（廣東）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 511517廣東省清遠市高新區(qū)百嘉工業(yè)園27-9號A區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種高純TeOX平面靶材的制備方法，包括以下步驟：（1）將Te粉末和TeO2粉末混合均勻，得到混合料；（2）將步驟（1）得到的混合料在熱壓爐內(nèi)進行熱壓，降溫出爐，即得TeOX平面靶材。本發(fā)明同時提出采用該制備方法所制備得到的TeOX平面靶材。本發(fā)明在反應(yīng)過程中采用兩段保溫的方法，控制保溫溫度和保溫時間，即可在遠高于碲的熔點的溫度下熱壓得到TeOX平面靶材。本發(fā)明提供的制備方法成本低廉、操作簡單，并且得到的高純TeOX平面靶材的相對密度大于90%，純度大于5N，電阻率小于1000Ω?cm。