一種電子產(chǎn)品內(nèi)置芯片生產(chǎn)用晶圓清洗設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022565276.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213150737U | 公開（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213150737U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號(hào) | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王成 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江西天漪半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南昌金軒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 石紅麗 |
| 地址 | 332500江西省九江市湖口縣高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)科創(chuàng)綜合體項(xiàng)目9號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于芯片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種電子產(chǎn)品內(nèi)置芯片生產(chǎn)用晶圓清洗設(shè)備，針對(duì)現(xiàn)有的晶圓清洗設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，操作繁瑣，且在清洗后不能對(duì)晶圓進(jìn)行快速的干燥，從而會(huì)對(duì)接下來的工序造成影響的問題，現(xiàn)提出如下方案，其包括箱體，所述箱體的底部四角均設(shè)置有移動(dòng)輪，所述箱體的底部?jī)?nèi)壁一側(cè)設(shè)置有清潔箱，所述清潔箱的頂部設(shè)置有開口，所述箱體的兩側(cè)內(nèi)壁上滑動(dòng)安裝有同一個(gè)支撐桿。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，通過攪拌桿、攪拌齒、托板、低速電機(jī)等構(gòu)件之間的相互配合，能夠有效的對(duì)待清洗的晶圓進(jìn)行清洗，在鼓風(fēng)扇葉的作用下對(duì)清洗完成晶圓進(jìn)行快速干燥，使用方便，操作簡(jiǎn)單。?? |
