一種集成電路晶圓用具有輔助定位結(jié)構(gòu)的對(duì)位設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022245687.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213124390U 公開(kāi)（公告）日 2021-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN213124390U 申請(qǐng)公布日 2021-05-04
分類(lèi)號(hào) H01L21/67;H01L21/68 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江西天漪半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌金軒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 石紅麗
地址 332500 江西省九江市湖口縣高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)科創(chuàng)綜合體項(xiàng)目9號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種集成電路晶圓用具有輔助定位結(jié)構(gòu)的對(duì)位設(shè)備，包括底座和連接塊，所述底座上表面安置有底板，且底板上表面開(kāi)設(shè)有卡槽，所述卡槽內(nèi)部安置有切刀，所述底板上表面設(shè)置有第一彈簧，且第一彈簧上端連接有工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上表面開(kāi)設(shè)有刀槽，所述連接塊安置于底座上端。該集成電路晶圓用具有輔助定位結(jié)構(gòu)的對(duì)位設(shè)備設(shè)置有夾板，絲杠與連接塊之間為螺紋連接，且絲杠左端連接有轉(zhuǎn)把，有利于通過(guò)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)把使其帶動(dòng)絲杠通過(guò)連接塊進(jìn)行左右延伸，從而帶動(dòng)右端的夾板對(duì)工作臺(tái)上表面的晶圓進(jìn)行夾持處理，使其處于對(duì)位的刻度處進(jìn)行折斷處理，可大大提高裁切的精度，而夾板右側(cè)下方設(shè)置的海綿板可有效防止夾持過(guò)程中對(duì)晶圓造成刮擦損傷。