可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏及單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920935815.7 申請日 -
公開（公告）號 CN210151239U 公開（公告）日 2020-03-17
申請公布號 CN210151239U 申請公布日 2020-03-17
分類號 C30B29/06;C30B15/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 吳學(xué)軍 申請（專利權(quán)）人 寧夏旭櫻新能源科技有限公司
代理機構(gòu) 寧夏合天律師事務(wù)所 代理人 孫彥虎
地址 753000 寧夏回族自治區(qū)石嘴山市大武口區(qū)欣盛路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏，包括內(nèi)筒、外筒、環(huán)形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板組、進水管、出水管、連接桿、固定環(huán)體，本實用新型中，冷卻液出口靠近冷卻液入口設(shè)置，冷卻液從冷卻液入口進入后，沿隔板組自上而下流動，形成S形流動軌跡，最大程度利用了內(nèi)筒為側(cè)壁表面，最大程度的增加了冷卻液的流動距離，提高了冷卻效率，進水管和出水管中的冷卻液均通過固定環(huán)體與外界實現(xiàn)交換，而固定環(huán)體只需要卡裝在單晶爐爐體和爐蓋之間，水冷熱屏的安裝以及進水管、出水管的安裝均不需要破壞爐體結(jié)構(gòu)，尤其適用于之前沒有設(shè)置水冷熱屏的小型單晶爐，改造難度小，改造成本低，本實用新型還提供了一種可快速拆裝式單晶硅制備用單晶爐。