可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏及單晶爐
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201920935815.7 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN210151239U | 公開(公告)日 | 2020-03-17 |
申請公布號 | CN210151239U | 申請公布日 | 2020-03-17 |
分類號 | C30B29/06;C30B15/00 | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 吳學(xué)軍 | 申請(專利權(quán))人 | 寧夏旭櫻新能源科技有限公司 |
代理機構(gòu) | 寧夏合天律師事務(wù)所 | 代理人 | 孫彥虎 |
地址 | 753000 寧夏回族自治區(qū)石嘴山市大武口區(qū)欣盛路16號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種可快速拆裝式單晶硅制備用水冷熱屏,包括內(nèi)筒、外筒、環(huán)形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板組、進水管、出水管、連接桿、固定環(huán)體,本實用新型中,冷卻液出口靠近冷卻液入口設(shè)置,冷卻液從冷卻液入口進入后,沿隔板組自上而下流動,形成S形流動軌跡,最大程度利用了內(nèi)筒為側(cè)壁表面,最大程度的增加了冷卻液的流動距離,提高了冷卻效率,進水管和出水管中的冷卻液均通過固定環(huán)體與外界實現(xiàn)交換,而固定環(huán)體只需要卡裝在單晶爐爐體和爐蓋之間,水冷熱屏的安裝以及進水管、出水管的安裝均不需要破壞爐體結(jié)構(gòu),尤其適用于之前沒有設(shè)置水冷熱屏的小型單晶爐,改造難度小,改造成本低,本實用新型還提供了一種可快速拆裝式單晶硅制備用單晶爐。 |
