單晶硅制備用水冷熱屏及單晶爐
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920935816.1 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN210151240U | 公開(公告)日 | 2020-03-17 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN210151240U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-03-17 |
分類號(hào) | C30B29/06;C30B15/00 | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
發(fā)明人 | 吳學(xué)軍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 寧夏旭櫻新能源科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 寧夏合天律師事務(wù)所 | 代理人 | 孫彥虎 |
地址 | 753000 寧夏回族自治區(qū)石嘴山市大武口區(qū)欣盛路16號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種單晶硅制備用水冷熱屏,包括內(nèi)筒、外筒、環(huán)形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板組、進(jìn)水管、出水管,所述內(nèi)筒同心套裝在外筒內(nèi),外筒的頂部向內(nèi)翻折形成內(nèi)緣,所述第一隔板、第二隔板豎直設(shè)置在環(huán)形內(nèi)腔內(nèi),所述隔板組設(shè)置于內(nèi)緣與環(huán)形底之間,在第一隔板、第二隔板之間的內(nèi)筒的環(huán)壁上設(shè)有冷卻液入口和冷卻液出口,本實(shí)用新型中,冷卻液出口靠近冷卻液入口設(shè)置,冷卻液從冷卻液入口進(jìn)入后,沿隔板組自上而下流動(dòng),形成S形流動(dòng)軌跡,然后流入第一隔板、第二隔板之間的空腔的底部,再?gòu)睦鋮s液出口流出,最大程度利用了內(nèi)筒為側(cè)壁表面,最大程度的增加了冷卻液的流動(dòng)距離,提高了冷卻效率,本實(shí)用新型還提供了一種單晶硅制備用單晶爐。 |
