單晶硅制備用水冷熱屏及單晶爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920935816.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN210151240U 公開（公告）日 2020-03-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN210151240U 申請(qǐng)公布日 2020-03-17
分類號(hào) C30B29/06;C30B15/00 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 吳學(xué)軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧夏旭櫻新能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧夏合天律師事務(wù)所 代理人 孫彥虎
地址 753000 寧夏回族自治區(qū)石嘴山市大武口區(qū)欣盛路16號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種單晶硅制備用水冷熱屏，包括內(nèi)筒、外筒、環(huán)形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板組、進(jìn)水管、出水管，所述內(nèi)筒同心套裝在外筒內(nèi)，外筒的頂部向內(nèi)翻折形成內(nèi)緣，所述第一隔板、第二隔板豎直設(shè)置在環(huán)形內(nèi)腔內(nèi)，所述隔板組設(shè)置于內(nèi)緣與環(huán)形底之間，在第一隔板、第二隔板之間的內(nèi)筒的環(huán)壁上設(shè)有冷卻液入口和冷卻液出口，本實(shí)用新型中，冷卻液出口靠近冷卻液入口設(shè)置，冷卻液從冷卻液入口進(jìn)入后，沿隔板組自上而下流動(dòng)，形成S形流動(dòng)軌跡，然后流入第一隔板、第二隔板之間的空腔的底部，再?gòu)睦鋮s液出口流出，最大程度利用了內(nèi)筒為側(cè)壁表面，最大程度的增加了冷卻液的流動(dòng)距離，提高了冷卻效率，本實(shí)用新型還提供了一種單晶硅制備用單晶爐。