單晶硅制備用水冷熱屏及單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920935816.1 申請日 -
公開（公告）號 CN210151240U 公開（公告）日 2020-03-17
申請公布號 CN210151240U 申請公布日 2020-03-17
分類號 C30B29/06;C30B15/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 吳學軍 申請（專利權）人 寧夏旭櫻新能源科技有限公司
代理機構 寧夏合天律師事務所 代理人 孫彥虎
地址 753000 寧夏回族自治區(qū)石嘴山市大武口區(qū)欣盛路16號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種單晶硅制備用水冷熱屏，包括內筒、外筒、環(huán)形底、第一隔板、第二隔板、若干隔板組、進水管、出水管，所述內筒同心套裝在外筒內，外筒的頂部向內翻折形成內緣，所述第一隔板、第二隔板豎直設置在環(huán)形內腔內，所述隔板組設置于內緣與環(huán)形底之間，在第一隔板、第二隔板之間的內筒的環(huán)壁上設有冷卻液入口和冷卻液出口，本實用新型中，冷卻液出口靠近冷卻液入口設置，冷卻液從冷卻液入口進入后，沿隔板組自上而下流動，形成S形流動軌跡，然后流入第一隔板、第二隔板之間的空腔的底部，再從冷卻液出口流出，最大程度利用了內筒為側壁表面，最大程度的增加了冷卻液的流動距離，提高了冷卻效率，本實用新型還提供了一種單晶硅制備用單晶爐。