一種雙向液態(tài)源蒸發(fā)CVD系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010953796.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112342527A | 公開（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112342527A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | C23C16/448(2006.01)I; | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 孔令杰;李曉麗 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥正則元起專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉生昕 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市高新區(qū)科學(xué)大道110號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種雙向液態(tài)源蒸發(fā)CVD系統(tǒng)，包括蒸發(fā)裝置主體，所述蒸發(fā)裝置主體的上方安裝有加熱爐和石英外管；雙向液態(tài)源蒸發(fā)CVD系統(tǒng)是通過(guò)雙向雙回路的方式，將液態(tài)源蒸發(fā)后的汽態(tài)源分別從第一進(jìn)出座和第二進(jìn)出座分次輸入，通過(guò)第一進(jìn)出座和第二進(jìn)出座的輸入保證沉積內(nèi)管中汽態(tài)源充分留存，能夠充分反應(yīng)；將保護(hù)氣體通過(guò)預(yù)熱裝置預(yù)熱到液態(tài)源蒸發(fā)溫度，保護(hù)石英外管內(nèi)部的汽態(tài)源不會(huì)遇冷后凝固，通過(guò)觸摸屏控制加熱爐在滑軌上左右橫向移動(dòng)，可快速定位沉積內(nèi)管中材料沉積區(qū)并進(jìn)行快速加溫，使得沉積區(qū)的材料受熱變成汽態(tài)；此法相對(duì)一般工藝而言液態(tài)源蒸發(fā)成汽態(tài)更純，裂解后雜質(zhì)少，所制得的薄膜或材料質(zhì)量更高。?? |
