一種卷對卷化學(xué)氣相沉積設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011409898.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112553601A 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號 CN112553601A 申請公布日 2021-03-26
分類號 C23C16/54(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 孔令杰;白曉航 申請（專利權(quán)）人 安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 合肥正則元起專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉生昕
地址 230000安徽省合肥市高新區(qū)科學(xué)大道110號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種卷對卷化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括放料倉、剛玉管、收料倉、放料輥、收料輥、轉(zhuǎn)向輪一、轉(zhuǎn)向輪二、傳動輥、纖維材料、供氣系統(tǒng)、電加熱爐、真空泵組、設(shè)備控制器，所述電加熱爐的內(nèi)部水平設(shè)置有剛玉管，所述剛玉管的兩端均貫穿電加熱爐且分別與放料倉和收料倉通過法蘭連接，所述放料倉的內(nèi)部設(shè)置有電機，電機的輸出軸與傳動輥連接，本發(fā)明通過纖維傳動輥，使得纖維材料在反應(yīng)區(qū)中實現(xiàn)曲線傳動，提升了反應(yīng)區(qū)的利用率，進而提升通過卷對卷化學(xué)氣相沉積設(shè)備制備復(fù)合纖維材料的效率。??