一種氮化硼復(fù)合纖維的化學(xué)氣相沉積設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011412642.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112553602A 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號 CN112553602A 申請公布日 2021-03-26
分類號 C23C16/54(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 孔令杰;白曉航 申請（專利權(quán)）人 安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥正則元起專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉生昕
地址 230000安徽省合肥市高新區(qū)科學(xué)大道110號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氮化硼復(fù)合纖維的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，所述真空腔體包括剛玉管和設(shè)置在剛玉管兩端的收絲腔和放絲腔，所述剛玉管的兩端與收絲腔及放絲腔之間通過法蘭盤固定密封連接，所述氮化硼沉積裝置包括對剛玉管進(jìn)行加熱的電爐及供氣系統(tǒng)，所述剛玉管安裝在電爐的內(nèi)部并剛玉管的兩端貫穿電爐設(shè)置，所述供氣系統(tǒng)的輸出端通過管道與放絲腔連接，所述纖維傳動(dòng)裝置包括位于放絲腔內(nèi)的放絲軸及放絲輥和收絲腔內(nèi)的收料軸及收絲輥，所述收絲腔上設(shè)置有收絲保護(hù)裝置，所述真空泵組與收絲腔體連接，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了在纖維表面連續(xù)制備氮化薄膜，并通過設(shè)置收絲保護(hù)裝置，避免雜質(zhì)對于成品的污染，實(shí)現(xiàn)氮化硼復(fù)合纖維的批量化制備。??