一種硅基光計(jì)算異質(zhì)集成模組

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011577277.2 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112736073B 公開(公告)日 2022-07-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN112736073B 申請(qǐng)公布日 2022-07-12
分類號(hào) H01L25/16(2006.01)I;H01L23/367(2006.01)I;H01L23/538(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 薛海韻;曹立強(qiáng) 申請(qǐng)(專利權(quán))人 華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 -
地址 214028江蘇省無錫市新區(qū)菱湖大道200號(hào)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園D1棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅基光計(jì)算異質(zhì)集成模組結(jié)構(gòu),包括:載片;硅基光芯片,所述硅基光芯片正裝貼片埋入設(shè)置在所述載片中;電芯片,所述電芯片正裝貼片埋入設(shè)置在所述載片中,所述硅基光芯片的厚度大于所述電芯片的厚度;以及電互聯(lián)結(jié)構(gòu),所述電互聯(lián)結(jié)構(gòu)電連接所述硅基光芯片至所述電芯片。