一種混合結(jié)構(gòu)聲波器件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111574229.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114389561A 公開（公告）日 2022-04-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114389561A 申請(qǐng)公布日 2022-04-22
分類號(hào) H03H9/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 陳云姣;王為標(biāo);陸增天;徐彬;韋鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫市好達(dá)電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 過(guò)顧佳
地址 214124 江蘇省無(wú)錫市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)高運(yùn)路115號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種混合結(jié)構(gòu)聲波器件，該聲波器件封裝結(jié)構(gòu)包括襯底和襯底上方多個(gè)體聲波諧振器和聲表面波諧振器。體聲波諧振器位于襯底上方，襯底上方有上層布拉格反射鏡和下層布拉格反射鏡，兩布拉格反射鏡中間有壓電層和上下電極，形成體聲波諧振器；上層布拉格反射鏡上方為壓電層和聲表面波換能器，形成聲表面波諧振器。在同一襯底上集成了SMR結(jié)構(gòu)的體聲波諧振器和IHP結(jié)構(gòu)的聲表面波諧振器，大大提高了集成度；由于SMR和IHP都是疊層結(jié)構(gòu)，工藝制程易于實(shí)現(xiàn)；體聲波諧振器與聲表面波諧振器之間有布拉格反射鏡的存在，對(duì)兩種聲波各自進(jìn)行了聲學(xué)反射，杜絕了兩種諧振器之間的干擾，在實(shí)現(xiàn)小型化的同時(shí)保證了兩諧振器之間的隔離。