一種具有空氣隙的BAW諧振器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122308677.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215934828U 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN215934828U 申請公布日 2022-03-01
分類號 H03H9/17（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 代丹;王為標;陸增天;杜杰;竇韶旭 申請（專利權）人 無錫市好達電子股份有限公司
代理機構(gòu) 無錫華源專利商標事務所（普通合伙） 代理人 過顧佳
地址 214124江蘇省無錫市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)高運路115號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種具有空氣隙的BAW諧振器，涉及MEMS器件制造領域，該BAW諧振器包括由下而上依次設置的基底、非晶硅、布拉格反射柵、下電極層、壓電層和上電極層，下電極層邊緣與布拉格反射柵之間形成有空氣隙。該BAW諧振器通過在布拉格反射柵上表面的下電極邊界處形成空氣隙，起到了聲波限制邊界的作用，從而減小諧振器的插入損耗，提高諧振器Q值。