差壓傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022131677.2 申請日 -
公開（公告）號 CN212844122U 公開（公告）日 2021-03-30
申請公布號 CN212844122U 申請公布日 2021-03-30
分類號 G01L13/06(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉同慶;林智敏 申請（專利權(quán)）人 無錫芯感智半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 北京中知法苑知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽
地址 214000江蘇省無錫市濱湖區(qū)建筑西路777號A10幢3層裙樓北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供一種差壓傳感器，包括：殼體，所述殼體設(shè)置有容納腔以及與所述容納腔相連通的第一進(jìn)壓孔和第二進(jìn)壓孔；壓力敏感芯片，所述壓力敏感芯片位于所述容納腔內(nèi)，所述壓力敏感芯片具有高壓腔、低壓腔以及壓力感應(yīng)層，所述壓力感應(yīng)層位于所述高壓腔與所述低壓腔之間；以及，所述高壓腔與所述第一進(jìn)壓孔相連通，所述低壓腔與所述第二進(jìn)壓孔相連通。本公開的差壓傳感器，可以利用第一進(jìn)壓孔和第二進(jìn)壓孔分別向高壓腔和低壓腔內(nèi)引入待測壓力，并經(jīng)由壓力感應(yīng)層測量得出壓差信號，從而實現(xiàn)壓力差值的測量。利用一個壓力敏感芯片即可實現(xiàn)壓力差值的測量，結(jié)構(gòu)簡單，并且具有較高的測量精度。??