差壓傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022131677.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212844122U | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212844122U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號(hào) | G01L13/06(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 劉同慶;林智敏 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫芯感智半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李明;趙吉陽(yáng) |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市濱湖區(qū)建筑西路777號(hào)A10幢3層裙樓北側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公開提供一種差壓傳感器，包括：殼體，所述殼體設(shè)置有容納腔以及與所述容納腔相連通的第一進(jìn)壓孔和第二進(jìn)壓孔；壓力敏感芯片，所述壓力敏感芯片位于所述容納腔內(nèi)，所述壓力敏感芯片具有高壓腔、低壓腔以及壓力感應(yīng)層，所述壓力感應(yīng)層位于所述高壓腔與所述低壓腔之間；以及，所述高壓腔與所述第一進(jìn)壓孔相連通，所述低壓腔與所述第二進(jìn)壓孔相連通。本公開的差壓傳感器，可以利用第一進(jìn)壓孔和第二進(jìn)壓孔分別向高壓腔和低壓腔內(nèi)引入待測(cè)壓力，并經(jīng)由壓力感應(yīng)層測(cè)量得出壓差信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)壓力差值的測(cè)量。利用一個(gè)壓力敏感芯片即可實(shí)現(xiàn)壓力差值的測(cè)量，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并且具有較高的測(cè)量精度。?? |
