溫漂自補(bǔ)償SOI壓力傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910763759.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111076856B 公開（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN111076856B 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) G01L9/00（2006.01）I;G01L19/04（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉同慶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫芯感智半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李明
地址 214000江蘇省無錫市濱湖區(qū)建筑西路777號(hào)A10幢1層1827
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種溫漂自補(bǔ)償SOI壓力傳感器，其包括SOI襯底，所述SOI襯底上設(shè)有用于配置成惠斯通電橋的橋路電阻，且SOI襯底對(duì)應(yīng)設(shè)置橋路電阻的表面設(shè)置用于對(duì)惠斯通電橋進(jìn)行溫度補(bǔ)償?shù)难a(bǔ)償電阻，所述補(bǔ)償電阻及橋路電阻上設(shè)置電連接的互連引線；橋路電阻及補(bǔ)償電阻間通過絕緣隔離層及鈍化層相隔離，絕緣隔離層覆蓋于SOI襯底上，鈍化層覆蓋于絕緣隔離層上；刻蝕對(duì)應(yīng)于設(shè)置橋路電阻另一側(cè)的SOI襯底以形成壓力腔及壓力敏感膜，所述壓力腔及壓力敏感膜位于橋路電阻的正下方。本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，實(shí)現(xiàn)溫漂自補(bǔ)償，降低成本，穩(wěn)定性高，一致性好，適合批量生產(chǎn)，適應(yīng)范圍廣，安全可靠。