一種差壓傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022859091.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214426890U 公開(kāi)（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN214426890U 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) G01L13/06（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉同慶;林智敏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫芯感智半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽(yáng)
地址 214000江蘇省無(wú)錫市濱湖區(qū)建筑西路777號(hào)A10幢3層裙樓北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種差壓傳感器，包括：相互組配的第一蓋板和第二蓋板，以及位于所述第一蓋板和所述第二蓋板之間的差壓傳感器主體部；其中，所述差壓傳感器主體部包括：基板，所述基板設(shè)置有容納腔以及與所述容納腔相連通的第三進(jìn)壓孔及第四進(jìn)壓孔；壓力敏感芯片，所述壓力敏感芯片位于所述容納腔內(nèi)，所述壓力敏感芯片將所述容納腔間隔為高壓腔、低壓腔；以及，所述高壓腔與所述第三進(jìn)壓孔相連通，所述低壓腔與所述第四進(jìn)壓孔相連通。本實(shí)用新型的差壓傳感器，體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝方便，便于用戶信號(hào)調(diào)理并且極大的降低了成本。