一種差壓傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022859091.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214426890U 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN214426890U 申請公布日 2021-10-19
分類號 G01L13/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉同慶;林智敏 申請（專利權）人 無錫芯感智半導體有限公司
代理機構 北京中知法苑知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 李明;趙吉陽
地址 214000江蘇省無錫市濱湖區(qū)建筑西路777號A10幢3層裙樓北側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種差壓傳感器，包括：相互組配的第一蓋板和第二蓋板，以及位于所述第一蓋板和所述第二蓋板之間的差壓傳感器主體部；其中，所述差壓傳感器主體部包括：基板，所述基板設置有容納腔以及與所述容納腔相連通的第三進壓孔及第四進壓孔；壓力敏感芯片，所述壓力敏感芯片位于所述容納腔內(nèi)，所述壓力敏感芯片將所述容納腔間隔為高壓腔、低壓腔；以及，所述高壓腔與所述第三進壓孔相連通，所述低壓腔與所述第四進壓孔相連通。本實用新型的差壓傳感器，體積小巧、結構簡單，安裝方便，便于用戶信號調理并且極大的降低了成本。