MEMS熱電堆傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120834069.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214502684U 公開（公告）日 2021-10-26
申請公布號 CN214502684U 申請公布日 2021-10-26
分類號 G01J5/12（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉同慶 申請（專利權）人 無錫芯感智半導體有限公司
代理機構 深圳市辰為知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 唐文波
地址 214000江蘇省無錫市濱湖區(qū)建筑西路777號A10幢3層裙樓北側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種MEMS熱電堆傳感器。MEMS熱電堆傳感器包括：第一襯底上設置有多個安裝位，多個安裝位在第一襯底上排列呈環(huán)形；多個熱電堆單元對應的安裝在多個安裝位上；其中，熱電堆單元包括：第二襯底由高阻硅構成；第一熱偶層設置在第二襯底上，第一熱偶層包括第一半導體和第一金屬；隔離層鋪設在第一熱偶層上；第二熱偶層設置在隔離層上，第二熱偶層包括第二半導體和第二金屬，第二半導體與第一金屬關于隔離層對稱，第二金屬與第一半導體關于隔離層對稱；第一金屬與其對應的第二半導體連接形成熱電偶，第二金屬與其對應的第一半導體連接形成熱電偶，相鄰的熱電偶串聯(lián)。本實用新型技術方案有利于提高MEMS熱電堆傳感器的檢測靈敏度。