一種摻Ti的類金剛石涂層的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210423173.5 申請日 -
公開（公告）號 CN102925862B 公開（公告）日 2014-04-30
申請公布號 CN102925862B 申請公布日 2014-04-30
分類號 C23C14/22(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 馬勝利 申請（專利權(quán)）人 西安浩元航空科技有限公司
代理機構(gòu) 西安恒泰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 李鄭建
地址 710089 陜西省西安市閻良國家航空高技術(shù)產(chǎn)業(yè)基地藍天路5號獨立廠房D座西北戶
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備摻Ti的DLC涂層的方法，將預(yù)處理好的基體放入電弧與磁控濺射復(fù)合鍍膜設(shè)備的轉(zhuǎn)架桿上，以柱弧Ti靶作為Ti源，以平面C靶作為C的來源，平面C靶共三對，以均布的方式安置在爐體內(nèi)壁上，采用高純Ar作為主要離化氣體，保證有效的輝光放電過程；采用高純N2作為反應(yīng)氣體，使其離化并與Ti、C元素結(jié)合，在基體表面沉積形成摻Ti的DLC涂層。制備的該摻Ti的DLC涂層外觀呈黑色，表面光滑致密，涂層的硬度28GPa，膜基結(jié)合力達到60N，涂層厚度為2.5μm，當(dāng)摩擦副為Al2O3球時，涂層的干摩擦系數(shù)為0.2。表明摻Ti的DLC涂層具有良好的耐磨和減摩性能。