AlTiN高速切削刀具涂層的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210423182.4 申請日 -
公開（公告）號 CN102899613B 公開（公告）日 2014-06-18
申請公布號 CN102899613B 申請公布日 2014-06-18
分類號 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/38(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 馬勝利 申請（專利權(quán)）人 西安浩元航空科技有限公司
代理機構(gòu) 西安恒泰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 李鄭建
地址 710089 陜西省西安市閻良國家航空高技術(shù)產(chǎn)業(yè)基地藍天路5號獨立廠房D座西北戶
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種AlTiN高速切削刀具涂層的制備方法，將高速切削刀具預(yù)處理后放入電弧離子鍍膜設(shè)備中的轉(zhuǎn)架桿上，以矩形Ti靶作為底層的Ti來源，矩形Ti靶安置在爐體左內(nèi)壁上，通過矩形靶電弧電源的電流控制矩形Ti靶的濺射率；以圓形AlTi靶作為制備AlTiN涂層的Al、Ti元素來源，圓形AlTi靶共三個，以均布的方式安置在爐體右內(nèi)壁上，通過圓形AlTi靶電弧電源的電流控制AlTi靶的濺射率；采用高純Ar作為主要離化氣體，保證有效的輝光放電過程；采用高純N2作為反應(yīng)氣體，使其離化并與Al、Ti元素結(jié)合，在高速切削刀具表面沉積形成AlTiN涂層。該AlTiN涂層抗氧化溫度可以達到900℃，具有優(yōu)良的抗氧化性能。