一種用于硬質(zhì)合金旋轉(zhuǎn)銼表面制備TiAlSiN涂層的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811106735.7 申請日 -
公開（公告）號 CN109182983A 公開（公告）日 2019-01-11
申請公布號 CN109182983A 申請公布日 2019-01-11
分類號 C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 馬勝利 申請（專利權(quán)）人 西安浩元航空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安恒泰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 李鄭建
地址 710089 陜西省西安市閻良區(qū)國家航空高技術(shù)產(chǎn)業(yè)基地藍(lán)天路5號獨(dú)立廠房D座西北戶
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于硬質(zhì)合金旋轉(zhuǎn)銼表面制備TiAlSiN涂層的方法，將硬質(zhì)合金制成的旋轉(zhuǎn)銼預(yù)處理后放入電弧離子鍍膜設(shè)備中的轉(zhuǎn)架桿上，以TiAlSi合金靶作為涂層中Ti、Al、Si元素來源，通過電弧電源的電流控制靶的濺射率；采用Ti靶作為制備底層和過渡層的Ti元素來源，采用高純Ar作為主要離化氣體，采用高純N2作為反應(yīng)氣體，使其離化并與Ti、Al、Si元素結(jié)合，在旋轉(zhuǎn)銼表面沉積形成TiAlSiN涂層。該TiAlSiN涂層為三層結(jié)構(gòu)，即Ti/TiN/TiAlSiN，涂層總厚度為3.0微米，化學(xué)成分含量為Ti：20at.％，Al：30at.％，Si：8at.％，N：42at.％。涂層硬度42GPa，在室溫干摩擦和對副為GCr15條件下，銷盤實(shí)驗(yàn)測出的TiAlSiN涂層的摩擦系數(shù)為0.65，結(jié)合力為HF1級，具有很好的結(jié)合力和耐磨損性能。